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用上EUV光刻機 SK海力士宣布明年量產第四代內存

來源:番茄系統(tǒng)家園瀏覽:時間:2022-06-13 13:55:04

ASML公司的EUV光刻機全球獨一份,現在主要是用在7nm及以下的邏輯工藝上,臺積電、三星用它生產CPU、GPU等芯片。馬上內存芯片也要跟進了,SK海力士宣布明年底量產EUV工藝內存。

據報道,SK海力士總裁李石熙日前表示,該公司計劃將于明年下半年開始在利川廠區(qū) M16采用EUV光刻機生產第四代(1a nm)DRAM產品。

李石熙表示M16工廠將于今年底建成,明年上半年開始引入制造設備,目前實驗室正在進行準備工作,預計明年開始量產。

對內存來說,它跟CPU邏輯工藝一樣面臨著需要微縮的問題,EUV光刻機可以減少多重曝光工藝,提供工藝精度,從而可以減少生產時間、降低成本,并提高性能。

當然,上EUV工藝的代價也不是沒有,EUV光刻機單價10億元以上,產量還是不如傳統(tǒng)DUV光刻機,意味著初期成本會比較高。

在SK海力士之前,三星也宣布使用EUV工藝生產內存,前不久發(fā)布的16Gb容量LPDDR5內存已經用上了,帶寬速度為6400Mbps(等價6400MHz),比現款12GbLPDDR5-5500快了16%。

在16GB的總容量下,允許一秒內傳輸10部5GB高清電影(51.2GB)。

三大內存原廠中,只有美光對 EUV工藝不太熱心,不過隨著前兩大廠商上馬EUV工藝,美光后續(xù)的想法或許也會改變了。

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